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편심형 공진기와 전자기 인덕터를 활용한 2축 MEMS 자기장 센서 개발
연세대학교 기계공학과 김종백 교수 연구팀은 하나의 소자만으로 X축과 Y축 두 방향의 자기장을 정밀하게 측정할 수 있는 초소형 2축 MEMS 자력계를 개발하였다. 비대칭 질량을 가진 편심 구조와 전기유도 방식의 센싱 원리를 결합하여, 기존 단축 자력계 대비 소형화와 고감도를 동시에 달성하였다. 별도의 조립 없이 단일 공정으로 제작 가능한 구조를 통해 제작 공정의 단순화와 소형화, 비용 절감이 가능하며, 자율주행 차량, 드론, 로봇 등의 정밀 위치 및 자세 제어에 폭넓게 응용될 수 있다. 본 연구 성과는 센서 및 마이크로 시스템 분야 국제 저명 저널인 Sensors and Actuators A: Physical 2025년 6월호에 게재되었다.
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