마이크로 시스템 설계(MICROSYSTEM DESIGN)-MEU5450

수업 목표 및 개요


마이크로 시스템의 설계 절차는 주로 두 부분으로 구성됩니다.

1. 프로세스 설계 2. 디바이스 설계.

이 수업은 마이크로 시스템 디자인 과정 중 하나이며 프로세스 부분에 초점을 맞출 것입니다. 코스 목표는 다음과 같습니다.

1. 표준 미세 가공 기술 및 그 주변 문제에 대한 이해.

2. 마이크로 제조의 요구 사항, 환경 및 애플리케이션을 이해.

3. 마이크로 시스템의 설계 및 제조에 마이크로 제작 기술 및 응용 분야에 대한 지식을 적용.

4. 마이크로 시스템 제작을 위한 레이아웃 설계 및 CAD 툴의 이해.

The design procedure of microsystems is composed of mainly two parts:

1. Process design and 2. Device design.

This is one of the microsystem design courses series and will be focused on the process part. The course objectives are:

1. To gain an understanding of standard microfabrication techniques and the issues surrounding them.

2. To understand the unique requirements, environments, and applications of micromanufacturing.

3. To apply knowledge of microfabrication techniques and applications to the design and manufacturing of microsystems.

4. To be familiar with layout design CAD tools for microsystem fabrication

수업내용

1

Introduction - Micro fabrication overview: IC Process, MEMS Process

2

Micro fabrication - Unit processes: Wafer manufacturing / cleaning / Lithography

3

Micro fabrication - Unit processes: Oxidation / Diffusion

4

Micro fabrication - Unit processes: Diffusion / Plasma

5

Micro fabrication - Unit processes: Thin Film Deposition / Etching

6

Micro fabrication - Unit processes: Etching / Implantation

7

Micromechanical Manufacturing Processes: Surface micromachining

8

Midterm Exam

9

Micromechanical Manufacturing Processes: Bulk micromachining

10

Micromechanical Manufacturing Processes: LIGA / Electroplating / Lift-off / Soft lithography

11

Micromechanical Manufacturing Processes: Wafer Bonding / Other micro-mechanical processes

12

Micromechanical Manufacturing Processes: Packaging and Assembly

13

Process Integration & Layout design (CAD tools)

14

Process Design Case Study and Applications

15

Process Design Case Study and Applications

16

Final Project presentation and discussion