수업 목표 및 개요

마이크로 시스템의 설계 절차는 주로 두 부분으로 구성됩니다.

1. 프로세스 설계 2. 디바이스 설계.

이 수업은 마이크로 시스템 디자인 과정 중 하나이며 프로세스 부분에 초점을 맞출 것입니다. 코스 목표는 다음과 같습니다.

1. 표준 미세 가공 기술 및 그 주변 문제에 대한 이해.

2. 마이크로 제조의 요구 사항, 환경 및 애플리케이션을 이해.

3. 마이크로 시스템의 설계 및 제조에 마이크로 제작 기술 및 응용 분야에 대한 지식을 적용.

4. 마이크로 시스템 제작을 위한 레이아웃 설계 및 CAD 툴의 이해.

The design procedure of microsystems is composed of mainly two parts:

1. Process design and 2. Device design.

This is one of the microsystem design courses series and will be focused on the process part. The course objectives are:

1. To gain an understanding of standard microfabrication techniques and the issues surrounding them.

2. To understand the unique requirements, environments, and applications of micromanufacturing.

3. To apply knowledge of microfabrication techniques and applications to the design and manufacturing of microsystems.

4. To be familiar with layout design CAD tools for microsystem fabrication