마이크로 시스템 역학(MECHANICS OF MICROSYSTEMS)-MEU6080

수업 목표 및 개요


이 과정은 고전 역학에 대한 기본 검토와 Microsystems에 대한 응용 분야 연구로 구성됩니다. Microsystems의 물리학 및 설계가 강조되고 역학 및 기계 공학과 관련된 문제가 다뤄질 것입니다. 최신 마이크로 디바이스 및 시스템을 사용한 다양한 연구 사례를 다룹니다.

Macro 및 micro 스케일 전자 기계 시스템의 차이점을 이해함으로써 학생들은 기계 공학자로서 마이크로 스케일 장치 및 시스템에 대한 지식 및 설계 능력을 습득하게 됩니다.

This course will be composed of basic reviews of classical mechanics and study on their applications to Microsystems. The physics and design of Microsystems will be emphasized and the related issues of mechanics and mechanical engineering will be covered. Number of case studies will be performed using the up-to-date micro devices and systems.

By understanding the differences between the macro- and micro scale electromechanical systems, students will acquire the knowledge and design abilities for micro scale devices and systems as a mechanical engineer.


수업내용

1

Course Introduction/Class overview

2

Manufacturing methods review

3

Materials/ Various actuation schemes

4

Scale Law

5

Micro-flexure design

6

Micro-flexure design

7

Thermomechanics/Micro-thermal systems

8


9

Microfluidics

10

Electrostatics

11

Electrostatics

12

Applications: Dynamic systems and microresonators

13

Assembly of microdevices/Design Case Study

14

Design Case Study

15

Final Project presentation and discussion

16

Final Exam