마이크로시스템(MICROSYSTEMS)-MEU4620
수업 목표 및 개요
다양한 마이크로 구조물을 이해하기 위해 현재 상업화 되어있는 다양한 반도체 디바이스와 MEMS (Micro Electro Mechanical System) 제조를 위한 기본적인 마이크로 제조공정기술을 배우게 됩니다. 그 중 몇몇의 기술에 관해 심도 깊은 수업도 진행될 것입니다.
또한, 마이크로 시스템 설계 및 제조에 관한 최신 이슈도 다루어 질 것입니다.
In order to realize various micro-structures, the students will learn basic microfabrication techniques for current semiconductor manufacturing, and micromachining for MicroElectroMechanical Systems (MEMS).
Several applications will be discussed. Also, contemporary issues of microsystem design and fabrication will be covered.
주
수업내용
1
Course introduction
2
Introduction to MEMS, Overview of microfabrication
3
Semiconductor, IC, and Lithography
4
Oxide and Oxidation
5
Doping: Diffusion and Ion implantation
6
Metallization and Chemical deposition
7
Interconnection and Electronic packaging, Basic micromachining I
8
Midterm Exam
9
Basic micromachining II
10
Scaling, Device examples
11
Applications: Sensors
12
Applications: Actuators
13
Applications: Bio-MEMS, RF-MEMS, Optical-MEMS
14
Design Case Study
15
Project presentation Course evaluation
16
Final Exam